《表2 不同H2/SiH4气流量条件下制得硅膜的表面粗糙度》

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《不同沉积速率下微晶硅薄膜的生长行为研究》

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薄膜生长表面的状态决定了其生长过程[10]，而沉积速率对生长表面状态有着直接影响。采用AFM观察了不同沉积速率条件下制得薄膜的表面形貌，得到三维照片及其粗糙度值分别如图5和表2所示。