《表5 拉曼光谱峰强比Id/Ig的正交分析》
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《高功率脉冲复合直流磁控溅射制备类金刚石薄膜的结构与性能》
DLC薄膜拉曼分峰的Id/Ig值正交分析结果如表5所示。可以看出,基底偏压的极差最大,而靶电源和工作气压的极差值都极小,表明基底偏压对DLC薄膜结构的影响最大。
图表编号 | XD0031014200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.02.10 |
作者 | 高迪、林松盛、许伟、邹俭鹏、杨洪志 |
绘制单位 | 中南大学粉末冶金国家重点实验室、广东省新材料研究所、广东省新材料研究所、中南大学粉末冶金国家重点实验室、广东省新材料研究所、中南大学粉末冶金国家重点实验室、中南大学粉末冶金国家重点实验室 |
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