《表6 薄膜纳米硬度的正交分析》

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《高功率脉冲复合直流磁控溅射制备类金刚石薄膜的结构与性能》

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结合薄膜纳米硬度与拉曼正交分析及薄膜截面形貌分析，发现薄膜的硬度与其致密度变化一致，沉积粒子能量较低时，薄膜中sp2C=C键相对含量较高，得到的薄膜致密度和硬度较低；当沉积粒子能量增加时，sp2C=C键向sp3C-C键转变，薄膜致密度、硬度均提高。因此，可以通过调控工艺参数以控制沉积粒子的能量变化，从而对DLC薄膜品质与性能进行调控。