《表4 不同解耦方法在各个方向上的模型误差平方和μm2》

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《基于支持向量机的微纳米三维测量探头解耦》


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分别将4种解耦方法的模型误差数据代入计算公式,可得出各方法在三维方向上不同测点模型误差平方和E,结果见表4所列。E的计算公式为: