《表3 沿z正方向测试的数据》

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《基于支持向量机的微纳米三维测量探头解耦》


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沿PI台3个正方向测量的数据分别见表1~表3所列。其中,u、v代表探头输出的2路电压信号;z′为位移输出;X、Y、Z分别为沿机台3个坐标轴方向推动测球的距离。测试位移与被研究探头的测量范围一致。