《表1 Z轴方向冲击测试结果》

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《三轴高g值加速度传感器的测试技术研究》

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对加速度传感器Z轴量程内加速度值从小到大进行5次冲击得到表1所示的实验数据，将数据代入公式计算得到加速度传感器Z轴拟合的灵敏度为0.354μV/gn（5 V供电），拟合得到的最佳直线如图6所示，解析式为:y=0.000 3x+1.937 8，非线性度为3.8%，最大交叉耦合误差为以Z轴为主轴时，X或Y轴的耦合误差≯5.3%。