《表1 0 测试得到的定子z方向的振幅》

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《基于响应面的三自由度超声电机定子设计优化》

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本实验采用PSV多普勒激光干涉仪对根据优化前后尺寸加工得到的定子进行扫描和测振。主要测量得到定子的共振频率和共振频率下定子的振幅，实验过程中定子的激励峰值电压为100V。由实验可得定子的振动模态如图8所示，同时实验得到定子振幅如表10所示。