《表4 绕z轴旋转的测试结果》

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《大负载高精度光栅拼接柔顺并联机构的设计方法》

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采用上一小节推导的微动拼接机构逆运动学模型编写控制算法。试验过程中分别在负极限，零点和正极限位置，按0.2μrad/步的频率步进20次。通过测量值的平均值、标准差和相对平均误差来评价运动精度。从测试结果中，可以发现沿x轴和z轴能达到20 nm/步的运动精度。拼接机构绕x轴、y轴和z轴的运动精度分别如表2、表3、表4所示。