《表1 Zn Sn O3薄膜的正交实验参数数据表》

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《ZnSnO_3新相薄膜结构性能研究》


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将氧化锌和二氧化锡粉末按照两种金属离子1:1比例混合,使用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备Zn Sn O3新相。表1为Zn Sn O3薄膜的正交实验参数数据表。