《表2 Zn Sn O3薄膜的正交实验测试数据》

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《ZnSnO_3新相薄膜结构性能研究》


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表2为正交实验中各参数的三个水平和实验数据,表中第一组实验镀膜后。因为压强较低,功率小,导致等离子体放电不稳定,沉积出来的薄膜测试结构不好,所以没有相关测试数据。