《表1 非谐振式直线压电驱动器性能对比》

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《非谐振式压电直线位移驱动器研究综述》


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步进式压电驱动器中尺蠖型压电驱动器在保证高位移分辨率的同时,步距可在较大范围内调整,确保了其位移行程大的优势,但由于结构较为复杂,其输出频率与响应速度较低。黏滑惯性压电驱动器和冲击惯性压电驱动器有着较高的工作频率与响应速度,但其位移分辨率较低,稳定性较差。在驱动力方面,尺蠖型压电驱动器的驱动力取决于箍位与定子件的摩擦力大小,可以通过提高箍位力和摩擦因数等方法提高输出力,而冲击惯性和黏滑惯性压电驱动器的输出力取决于驱动器依靠自身惯性克服摩擦力产生的输出力,相对提供输出力较小。