《表2 定位的过程设计:电磁辅助压电致动器设计开发与性能测试研究》

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《电磁辅助压电致动器设计开发与性能测试研究》


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为测试致动器的定位性能,将致动器初始位置从0μm处移动到3 000μm处,致动器在完成定位的过程被设计为3个阶段,如表2所示。