《表1 基于XPS定量分析结果计算的C、O、Zr 3种元素的原子数比值》

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《溶剂热体系组成对二氧化锆基粉体晶型结构的影响机理》

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图5为典型样品的XPS全谱图，各元素含量的测试与计算结果总结于表1。由图5可见，所有谱线在183、286、337、436、531 eV附近都出现了对应于Zr3d、C1s、Zr3p、Zr3s、O1s电子结合能的谱峰。对其中的Zr3d、C1s、及O1s谱线进行分峰拟合，可以得到182 e V/185 eV、284 e V/286 eV/288 e V、530 e V/531 e V/533 eV 3组电子结合能峰。通过与XPS谱库（NIST）中的数据比对并结合本研究中的合成体系可知：Zr3d电子对应Zr—O键合中的Zr，相应的锆物种可能是Zr O2、Zr（OH）x、Zr（OCH3）x；C1s电子对应C—C、C-H、C—O、C=C等键合中的C，相应的碳物种可能是甲氧基、单质碳以及污染碳；O1s电子对应M—O、O—H、C—O等键合中的O，相应的氧物种可能是Zr O2、Zr（OH）x、H2O及甲氧基。