《表1 XPS分析硅、锗、碳三元素的原子分数》

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《微应变诱导各向异性硅纳米晶形成及其光学特性》

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通过XPS分析样品中各元素的原子分数，选用六个典型成分的样品Ⅰ—Ⅵ，如表1所示，样品Ⅰ—Ⅵ分别以Si和C原子分数的差值与Ge的原子分数之比（ （RSi—RC）/RGe=RS/G） 递减排序。