《表1 六边形驱动器和四边形驱动器的性能对比》

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《140单元MEMS变形镜研制及测试分析》

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为了对比，利用有限元软件模拟仿真了六边形驱动器和传统两对边固支的四边形驱动器的性能指标。仿真中六边形驱动器边长185μm，四边形驱动器边长298μm，因而两种驱动器面积相同，上电极厚度均为2μm，上下电极间距均为2μm。仿真结果见表1所示，可见在行程、吸合电压、一阶固有频率和临界应力等方面，六边形驱动器均优于四边形驱动器。