《表1 圆形和正六边形空腔CMUTs单元结构尺寸》
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依据现有工艺水平以及试验条件（可加载最大直流电压小于220 V，也即所设计的CMUTs塌陷电压应小于220 V），针对每种空腔形状CMUTs结构，设计了两组参数。CMUTs具体结构尺寸如表1所示。
| 图表编号 | XD00163883300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.07.05 |
| 作者 | 李支康、赵立波、赵一鹤、李杰、郭帅帅、罗国希、徐廷中、刘子晨、李雪娇、蒋庄德 |
| 绘制单位 | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室、西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室、西安交通大学机械工程学院、西安交通大学苏州研究院、西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室、西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室、西安交通大学机械工程学院、西安交通大学苏州研究院、西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室、西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室、西安交通大学机械工程学院、西安交通大学苏州研究院、西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室、西安交通大学微纳制造与测试技术国际 |
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