《表2 圆形和正六边形空腔CMUTs阵列结构尺寸》

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《基于共晶键合技术的CMUTs结构设计与试验测试》

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针对CMUTs的每一组单元结构尺寸，分别设计两种阵列结构，也即单阵元和四阵元CMUTs芯片。每种芯片的外形尺寸形同，均为3 660μm×3 660μm。CMUTs阵列的具体设计参数如表2所示。