《表1 AlN原料规格：PVT方法下AlN烧结工艺坩埚盖处氧杂质沉积行为研究》
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《PVT方法下AlN烧结工艺坩埚盖处氧杂质沉积行为研究》
实验原料均采用某公司提供的平均粒径为1μm的高纯AlN粉料，具体规格如表1所示。实验中将原料分为A、B两组各100g，以不同的工艺进行烧结试验，工艺曲线如图2所示。
| 图表编号 | XD00188395800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.06.01 |
| 作者 | 龚加玮、王琦琨、雷丹、吴亮 |
| 绘制单位 | 上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室、上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室、上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室、上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室 |
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