《表2 常温下AlN三阶弹性常数》

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《薄膜体声波谐振器应力负载效应摄动分析》

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GPa

本算例的结构模型来自于文献[7]报道的一种FBAR微加速度计。文献并没有给出FBAR微加速度计的全部结构参数，只给出了电极Pt的厚度为0.18μm，压电层厚度为0.7～1μm，FBAR的面积为20×100μm2，谐振频率约为2.7 GHz，因此需要通过文献中的扫描电镜照片（SEM）估计FBAR微加速度计的其他结构参数。FBAR微加速度计的结构及尺寸如图1所示，FBAR压电层的厚度为0.7μm，4个支撑梁上的FBAR（底电极Pt-压电层AlN-顶电极Pt）的厚度均为1.06μm。计算过程中所涉及的材料参数如表1所示，AlN的三阶弹性常数[20]如表2所示，表中与后面的计算均使用缩写下标表示。AlN共有10个独立的三阶弹性常数，其他三阶弹性常数均可通过对称关系[21]得到。