《表2 H2O2溶液配比及反应条件》

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《表面化学处理对铸造多晶硅棒表面形貌及切割性能的影响》

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使用STX-1202A型金刚线截断机，将化学处理前、后的铸造多晶硅棒加工成若干尺寸为30mm×20mm×10mm的试样。表1和表2分别为不同配比和反应条件的KOH溶液和H2O2溶液对试样表面的处理方案。硅棒先用KOH处理，后用H2O2处理。