《表5 表面处理前后硅棒切片崩边比例》

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《表面化学处理对铸造多晶硅棒表面形貌及切割性能的影响》

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将同一铸造多晶硅锭开方的36根硅棒，均分为2组，其中一组使用方案4和方案7对硅棒表面进行处理，另一组不做处理。处理前后硅棒见图3。表5为采用相同切片工艺切割的表面处理前后硅棒的切片崩边比例。可以看出，经过表面处理后，硅棒切片崩边比例为0.20%，与未经表面处理的硅棒的崩边比例相比下降了87%，表面处理对降低硅棒的切片崩边比例有显著效果。