《表1 不同硅棒半径下的临界频率》

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《多晶硅还原炉高频交流电加热机制研究》

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硅棒交流电加热时，其趋肤效应的显著程度是由硅棒半径R和交流电频率f决定。为进一步描述其显著程度，本文引入无量纲参数p，p=R/δ。当p<1时，趋肤效应不显著；当p>1时，趋肤效应开始显著；当p=1时，其对应的交流电频率fc为临界频率。不同硅棒半径所对应的临界频率fc，如表1所示。进一步将频率无量纲化，引入无量纲参数相对频率RF，RF=f/fc。