《表2 对比测试数据：MEMS陀螺在片自动测试系统开发》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《MEMS陀螺在片自动测试系统开发》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

将某款MEMS陀螺进行在片测试的正交耦合与传统划片后再装配的测试结果进行了对比，表2为对比测试数据。可以看出陀螺在片测试的耦合误差、相位差与装配后测试的耦合误差、相位差趋势上是一致的，验证了该自动测试系统的可行性和有效性，根据在片测试结果，能够快速的反映出陀螺设计和工艺能力，对陀螺的性能进行分等级评估。