《表1 MEMS圆片闭环静态测试数据表》

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《MEMS陀螺在片自动测试系统开发》


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如图2所示:测试数据存储包含驱动轴、检测轴振动数据、驱动轴的谐振频率fd、Q值,相位差ΔΦ,正交误差与同相误差信息,连同圆片信息和测试点坐标等数据按行在指定EXCEL中存储,最后生成汇总文件,如表1所示。