《表1 MEMS圆片闭环静态测试数据表》
如图2所示:测试数据存储包含驱动轴、检测轴振动数据、驱动轴的谐振频率fd、Q值,相位差ΔΦ,正交误差与同相误差信息,连同圆片信息和测试点坐标等数据按行在指定EXCEL中存储,最后生成汇总文件,如表1所示。
图表编号 | XD00172461000 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.04.25 |
作者 | 孙天玲、胥超、赵阳、付兴中、杨志 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |