《表3 3-DOF并联平台的实验数据汇总表》

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《菱形压电电机在并联精密定位平台中的应用》

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根据对3-DOF并联平台的步进作动模式和连续作动模式的实验结果可知，本研究课题将柔性菱形压电电机直接驱动3-DOF并联精密定位平台，能够实现高精度定位和大行程工作空间。实验数据汇总如表3所示。可以看出，3-DOF并联平台借助菱形压电电机的步进运动模式和连续运动模式，能够实现沿z轴升降和绕x轴、y轴旋转运动的精密定位和连续宏观运动。其中，沿z轴升降运动的定位精度为1.0μm，沿z轴的升降行程约为3.54mm；绕x轴转动的定位精度为8.6μrad，其工作行程角位移约为3.92°；绕yU轴和yV轴转动的定位精度分别为11μrad和10μrad，其宏观连续转动行程分别约为4.16°和4.05°。