《表2 RGB膜层曝光工艺需求》

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《彩色滤光膜在显示中的应用及其制作对曝光性能的需求研究》

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RGB彩色光阻中添加了颜料成份，同样具有較高的耐化学性、耐热性以及优良的机械性。RGB图案的线宽均较宽，采用接近式曝光设备即可实现性能需求，曝光剂量约需30～60mj/cm2，具体线宽和套刻规格见表2所示。另，RGB线宽和套刻测量位置如图7所示。