《表1 BM膜层曝光工艺需求》

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《彩色滤光膜在显示中的应用及其制作对曝光性能的需求研究》

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BM制程中曝光剂量约需75mj/cm2，不同显示技术中彩色滤光膜的BM对曝光性能的需求不同，具体规格如表1所示。LCD显示的背板如果采用低温多晶硅LTPS TFT，因器件中膜层图案线宽小，所以匹配贴附的CF上膜层的线宽也需对应缩微至4μm以下，因此必使用投影式曝光机才能满足需求。