《表3 PS膜层曝光工艺需求》

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《彩色滤光膜在显示中的应用及其制作对曝光性能的需求研究》

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PS间隔柱的作用主要是支撑液晶盒的间距，它是一种具有高透光性和弹性的材料，对于OLED使用的CF不需要制作PS。对于LCD显示结构中的PS间隔柱尺寸以及位置精度需求，如表3所示，曝光剂量约需30～40mj/cm2。在LTPS TFT驱动的LCD中，PS间隔柱尺寸也要缩微至4μm以下，使用投影式曝光机才能满足需求。