《表1 PS–PVD涂层喷涂工艺参数》

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采用PS–PVD工艺分别在石墨和GH3128基材上沉积YSZ涂层。喷涂原料为欧瑞康美科(Oerlikon Metco)生产的ZrO2–(质量分数为6%~8%)Y2O3团聚粉体(Metco6700),粉体粒径为5~20μm。PS–PVD喷涂设备为瑞士Oerlikon Metco生产的O3CP喷枪、60CD型送粉器、ABB机械手和真空组元等构成的喷涂系统,喷涂参数如表1所示。粉体置入送粉器并将温度维持在50℃,防止粉体吸湿,影响送粉。在石墨基材表面喷涂时,喷枪对准试件中心,维持一定的喷涂距离,枪和样品台相对静止保持100~200s。设定等离子体焰流中心为喷涂斑点中心D=0mm,中心上部为“–”,下部为“+”,示意图如图1所示。喷涂后涂层可从石墨基材表面剥离。GH3128基材表面的涂层沉积工艺可参考文献[12]。