《表9 电阻序列3修调效果及波动表》

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《激光修调法对LTCC内埋电阻的精确控制》

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为了对修调后电阻的实际宽度进行衡量以及对烧结后电阻阻值的影响进行评估，任取一个电阻序列（电阻序列3），对修调后的电阻宽度进行测量，实测值与修调后目标值的差值百分比如表9所示。修调结果表明，修调后的实际宽度与理论指导宽度相比波动基本可维持在±1%。