《表3 电阻序列3电阻宽度表》

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《激光修调法对LTCC内埋电阻的精确控制》


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将上述数据以图的形式进行直观的表述,所得结果如图8所示,其中贯穿全图的虚线代表3种电阻的标准阻值,即10Ω、20Ω和22Ω。可以看到,相对于电阻膜厚和宽度强烈的波动性,最终经过定向修调过后的电阻,波动已经维持在一个非常小的范围之内。对其波动范围进行计算,4个区域电阻序列波动范围为(-15.59%~16.07%)。