《表8 电阻序列4电阻厚度表》

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《激光修调法对LTCC内埋电阻的精确控制》

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进一步对各个区域电阻膜厚波动百分比进行分析，以10Ω电阻为例，各区域的电阻波动情况如图5所示。可以看到，电阻阻值波动百分比在-17.59%～21.08%之间，且区域2、3的电阻膜厚基本围绕中心值在波动，而区域1的电阻膜厚明显偏厚，区域4的电阻膜厚则明显偏薄，从区域1到区域4沿区域对角线呈现明显的线性变化的特点。究其原因，材料（生瓷和电阻浆料）本身和印刷工艺的膜厚一致性水平是很重要的影响因素。