《表3 S型热电阻的厚度测得值》
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《集成式表面镀膜微型温度/热流传感器的初步研制与测试》
由于薄膜电阻温度计的电阻值与薄膜厚度密切相关，因此，采用了台阶仪测量了玻璃基底上的铂薄膜厚度一边开展电阻与厚度的相关性分析，如表3所示。
| 图表编号 | XD0090053400 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.09.30 |
| 作者 | 常伟、陈紫怡、吴世俊 |
| 绘制单位 | 中国空气动力研究与发展中心设备所、中国空气动力研究与发展中心设备所、中国空气动力研究与发展中心设备所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
