《表1 电阻序列1电阻宽度表》

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《激光修调法对LTCC内埋电阻的精确控制》

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上述2点因素会引起电阻宽度相对于设计值的变化与偏移，取样生瓷片4个不同位置，使用3D测量仪对电阻的宽度进行测量，并与标准设计值进行对比，结果如表1～4所示。以10Ω电阻为例，对4个区域每个电阻的实际宽度相对于设计宽度的波动百分比进行计算，电阻宽度波动百分比如图3所示。可以看到，从一整张生瓷片的角度来说，电阻宽度的波动在-17.6%～5.3%之间，平均波动百分比达到9.14%。