《表2 环形超声传感器阵列的类型和性能》
针对不同的应用场景,将环形阵列超声传感器的类型和性能进行归类,如表2所示。超声传感器研制时使用的材料不同也会对整套系统的成像性能产生极大的影响。PZT/环氧树脂(epoxy resin)是一种拥有高机电耦合系数的1-3型压电复合材料,与表2中其他材料相比,能克服超声传感器因阵元尺寸较小而导致探测灵敏度低的问题,但相比PVDF薄膜来说,存在易碎、价格昂贵、声阻抗较大的缺点,难以满足科研工作者的各项需求。CMUT是一种基于微机电系统(MEMS)微加工工艺开发的微机械超声换能器,具有高灵敏度、宽频带、微型化、阵列设计灵活多变等优势,但复杂的工艺流程和严格的加工环境,限制了其商业化的普及,目前更多的还处于实验室阶段。
图表编号 | XD00149530900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.06.25 |
作者 | 张国鹏、邓丽军、白杨、刘国栋、曾吕明、纪轩荣 |
绘制单位 | 江西科技师范大学光电子与通信重点实验室、广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室、广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室、江西科技师范大学光电子与通信重点实验室、广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室、江西科技师范大学光电子与通信重点实验室、江西科技师范大学光电子与通信重点实验室、广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室、广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室 |
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