《表2 键合强度试验检测数据表》

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《全自动磁控溅射镀膜设备及工艺的研究》


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通过陶瓷基片上溅射镀膜钛钨合金和纯金电极,对溅射后的样品进行25μm金丝键合强度检测,所测试样品全部合格,表2为检测数据。