《表1 成膜均匀性测试试验》
靶材:Cu;基片:准200 mm硅片;功率:100 W/50 W;压强:0.5 Pa;靶-基距:100 mm,所测试样品全部合格。表1为检测数据。
图表编号 | XD0014934500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.02.20 |
作者 | 毛朝斌、佘鹏程、范江华、罗超、陈特超 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |