《表1 不同工艺气体流量组合配方结构》

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《板式pecvd制备氧化铝工艺研究》

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图2为有效少子寿命与表1中不同配方结构的对应关系，可以看出，配方4与5的少子寿命与对比组持平或略高，且进一步分析，配方4的数据离散度较低，说明钝化效果更优，结合表1中厚度的数据，可能原因为配方4的AlOx的致密度更高一些。另外，依据DOE试验设计的原理及直观分析方法，可以认为在两个因子中，氧气流量的变化对于钝化效果的改善最为显著，可认为是主要影响因子。