《表2 不同激光功率与线距组合配方》

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《板式pecvd制备氧化铝工艺研究》

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图3为不同激光组合配方制备成电池片后与转换效率的对应关系，从图3中可以看出，功率与线距2个单独因子对效率的影响程度接近，其中，较低的功率对硅片表面的热损伤相对较小，从而降低背面金属接触区域的复合电流[5-6]，较大的开孔率降低载流子横向传输电阻。而且当两者结合时，叠加效应超过2个因子的几何相加效果，转换效率提升近0.1%。