《表2 不同激光峰值功率密度下材料的物理现象[15]》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《背面局域点接触对PERC太阳电池性能的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

具体而言，当激光作用于硅片表面后，激光能量同时会被衬底吸收，硅片背表面温度出现急剧升高，从而导致材料熔化，这一系列的现象被称为激光热效应。本实验使用的纳秒绿光激光器属于短脉冲激光，不同波长的激光具有不同的加工机理。长脉冲激光的热效应易引起材料熔融损伤[13]；而短脉冲激光因光子能量较高，且硅的禁带宽度小于光子能量，使硅与载流子同时具有本征吸收特性[14]。当激光能量过低时，达不到材料的熔点，激光区域仅起到退火效果，而激光能量过高时，达到材料的熔点后激光区域的材料将熔化，并在降温的过程中再结晶。激光热效应将带来材料内部原子扩散或晶格空位的移动，一定程度上会改变材料的特性，甚至导致原子、分子、离子的重新排列。据研究表明，在不同的激光峰值功率密度下，材料将发生不同的物理现象[15]，具体如表2所示。