《表2 不同激光功率下对应的平均能量密度》

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《整形激光掺杂制备PERC电池选择性发射极研究》

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功率和激光划线速度下的重叠率和能量密度分别如表1和表2所示。从表1中可以看出当激光划线速度为24 m/s时，其光斑重叠率为0。随着激光划线速度的变化其光斑重叠率不一样（表1）。当激光划线速度为6 m/s时，由公式（1）计算出其重叠率为75%，如图2所示。激光是以光斑的形式作用在硅片上的，从图2中可知，后一个激光光斑与前一个激光光斑的重叠率为75%。当激光光斑出现第四个时，第一个激光光斑的90～120μm部分已被激光重复扫描四次，此后每30μm都被激光重复扫描4次，因此该重叠区域的等效功率为24×4 W，同理可以得出其他激光划线速度光斑的等效功率。为了验证理论计算，通过3D显微镜下观察了24 m/s与30 m/s时的激光光斑图形，如图3所示。从图中结果可以看出，实际情况与重复率计算基本一致。