《表1 不同工艺的氢气与氩气的体积流量比和高纯HCl气体体积流量》

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《高纯SiC粉料中杂质浓度的控制和测试》

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本文共设计六组不同工艺的实验，通过工艺1～6的结果分析氢气与氩气体积流量比对粉料氮浓度的影响，并通过工艺1～4的结果分析高纯HCl气体对硼、铝、钒和钛浓度的影响，最后研究粉料色度a*值测试结果与氮浓度的对应性，具体工艺参数见表1。