《表1 误差源分析：自驱动关节臂坐标测量机误差分析与结构优化设计》

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《自驱动关节臂坐标测量机误差分析与结构优化设计》

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注：θ6.坐标系6和坐标系5之间的旋转变换角度Δβzx.角度驱动旋转误差Δβ2c.旋转误差角度测量误差L32.末端关节连杆的杆长Δx6、Δy6、Δz6.6#关节的坐标三维偏移量误差

通过对测量机结构组成和测量过程分析，确定其误差分为测量过程的定位误差和测量误差，误差源主要包括测量机制造误差、关节转角误差和动态变形误差。以图1中6#关节为例，其具体误差源如表1所示。