《表1 不同结构薄膜拉曼偏移及应力》

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《多层金刚石薄膜制备工艺和应力分析研究》

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拉曼光谱广泛地应用于碳材料的研发与制备过程，对于天然金刚石来说，拉曼特征峰为1332 cm-1，传统化学气相沉积方法制备的金刚石薄膜由于受到拉应力或者压应力引起金刚石特征峰向高波数、低波数移动，不同结构薄膜拉曼偏移及应力详见表1。因此，利用拉曼偏移来定量地分析薄膜受到的应力。