《表1 优化前后陀螺仪振动结果对比》

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《MEMS陀螺仪振动特性分析及性能优化》


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从提高陀螺仪各阶模态频率、降低品质因数、减小正交耦合和提高电容比等四个方面对陀螺仪结构及加工工艺进行了优化,具体优化参数值如表1所示。