《表1 滤波前后数据对比：激光在线测厚振动分析与精度优化》

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《激光在线测厚振动分析与精度优化》

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基于此，设计带阻滤波器对数据进行处理，滤除10～103Hz区间信号，得到了修正后的数据，结果如图7及表1所示。可看出在C架移动扫描的情况下，滤波处理前极片和空铜箔厚度测量值波动较大，经滤波处理后，整体数据较为平稳。其中铜箔滤波后极差为0.73μm（降低了73.8%），满足铜箔制造精度±1μm的要求。极片滤波后极差为4.06μm（降低了33.4%），此外，在工业生产中，极片本身涂布厚度约有±2μm的精度偏差，图7中修正后的数据波动符合实际厚度变化，说明滑动带阻滤波处理有效消除了振动对测厚结果的干扰，同时较好地保留了厚度的真实值。