《表3 正交实验因素水平表Table 3 Orthogonal test factors and levels》

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《单晶硅红外透镜的超精密磨削工艺参数优化》

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传统精密磨削加工过程中，主要的加工工艺参数有磨削深度、进给速度和工具主轴转速等。而球面磨削加工中，除上述工艺参数外，工件主轴转速也是影响最终工件磨削质量的重要参数，另外，光磨次数已在多次光学元件磨削加工实验中被证明是影响最终工件磨削质量的重要参数。因此，以磨削深度、进给速度、工件主轴转速、工具主轴转速和光磨次数为实验因素，以磨削后工件表面的平均声发射信号值作为最终工件磨削质量的评定指标。实验设计中各因素为4水平，选用L16（45）正交实验表，如表3所示。实际磨削过程中需要微调工件转速来满足磨削纹路抑制策略。