《表4 正交实验检测结果Table 4 Orthogonal test results》

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《单晶硅红外透镜的超精密磨削工艺参数优化》

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正交实验的检测结果，如表4所示。可知，在不同的磨削加工参数下，单晶硅材料获得的表面粗糙度Ra为（6.60~9.37）nm，面形精度PV为（0.10~0.56）μm。因此，磨削加工参数对面形精度的影响大于对表面粗糙度的影响。