《表2 补偿前后误差比较:小型精密谐波转台角度定位精度标定与补偿》

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《小型精密谐波转台角度定位精度标定与补偿》


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利用式(6)的补偿函数嵌入到转台的控制算法后,重新测量谐波转台在该范围内各位置的角度误差,设补偿后各散点角度测量误差为ε′i,经过补偿后的角度测量误差如图11所示,谐波转台角度误差补偿前后的结果如表2所示。