《表1 五变量混料实验设计及结果》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《DOE实验设计开发高效的光刻胶剥离液》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

备注：R1为剥离时间（s)；R2为客户所用的光刻胶厚度为50 000埃剥离所需的时间（s)

以5变量进行混料设计，详见表1，结果1、2（R1及R2）作为数据处理的判断标准。